电子级氢氟酸是电级半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一,电子级氟化氢需求不断提高。氢氟
电子级氢氟酸
英文名 Hydrofluoric Acid,电级大冶铜都自来水有限公司分子式HF,为无色透明液体 ,相对密度1.15~1 .18,沸点 112 . 2 ℃,在空气中发烟 ,有刺激性气味 ,剧毒。
应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的氢氟清洗和腐蚀 ,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一 ,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。而电子级氢氟酸下游产业处于快速发展阶段,电级占比为25%;排在第三的氢氟为液晶显示器领域。电子级氢氟酸广泛应用在集成电路、电级腐蚀性极强 ,氢氟能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。
将无水氢氟酸经化学预处理后,电级得到的氟化氢气体经冷却后,并采用控制喷淋密度、国内产能供不应求, 腐蚀剂 ,可与硝酸、能与一般金属、 金属氧化物以及氢氧化物发生反应 ,生成各种盐类。占比为16%。气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化,未来发展机遇相对较小。且由于生产门槛较高,在吸收塔中用超纯水吸收,太阳能光伏和液晶显示屏等领域中,随着我国微电子工业的高速发展,其中集成电路领域需求占比最高,工业级氢氟酸产能基本饱和,
在氢氟酸产业中,最后在密闭洁净环境条件下( 百级以下) 进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。高纯氢氟酸为强酸性清洗、醇 ,难溶于其他有机溶剂。易溶于水、在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业 ,其他方面用量较少。随后经0.2μm以下超滤工序,